An edition of Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen (1990)

Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

by Klaus-Dieter Sauter

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Klaus-Dieter Sauter

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November 14, 2020 | History

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An edition of Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen (1990)

Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

by Klaus-Dieter Sauter

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Publish Date

1990

Publisher

Springer

Language

German

Pages

115

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Edition	Availability
1 Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen 1990, Springer in German 0387532366 9780387532363	aaaa Not in Library Libraries near you: WorldCat
2 Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen Nov 07, 1990, Springer, Springer Berlin Heidelberg paperback 3540532366 9783540532361	zzzz Not in Library Libraries near you: WorldCat

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Book Details

Published in

Berlin, New York

Edition Notes

Includes bibliographical references (p. [106]-115).

Series: IPA-IAO Forschung und Praxis ;, Bd. 149

Classifications

Dewey Decimal Class: 621.381/52
Library of Congress: TK7836 .S26 1990

The Physical Object

Pagination: 115 p. :
Number of pages: 115

ID Numbers

Open Library: OL1604949M
ISBN 10: 0387532366
LCCN: 91141871
Goodreads: 3683525

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Created April 1, 2008
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April 16, 2010	Edited by bgimpertBot	Added goodreads ID.
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Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

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