An edition of Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten (1999)

Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

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An edition of Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten (1999)

Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

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Publish Date
Publisher
Springer, Springer-Verlag
Pages
123

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Subjects

Clean rooms, Defects, Semiconductors, Design and construction, Prevention, Contamination (Technology)
Edition Availability
Cover of: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Jan 26, 1999, Springer, Springer-Verlag
paperback

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Book Details

Edition Notes

Source title: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten (IPA-IAO - Forschung und Praxis (281)) (German Edition)

Classifications

Library of Congress
TK7871.85 .S3855 1999, T55.4-60.8

The Physical Object

Format
paperback
Number of pages
123

Edition Identifiers

Open Library
OL28164508M
ISBN 10
3540655603
ISBN 13
9783540655602
LCCN
99493124

Work Identifiers

Work ID
OL20805059W

Source records

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