An edition of Ein Bandstrahl-Beleuchtungssystem für die Vielstrahl-Elektronen-Lithographie mit Kammsonde (1992)

Ein Bandstrahl-Beleuchtungssystem für die Vielstrahl-Elektronen-Lithographie mit Kammsonde

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Ein Bandstrahl-Beleuchtungssystem für die Vielstrahl-Elektronen-Lithographie mit Kammsonde

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Publish Date
Language
German
Pages
78

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Ein Bandstrahl-Beleuchtungssystem für die Vielstrahl-Elektronen-Lithographie mit Kammsonde
1992
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Edition Notes

Thesis (doctoral)--Eberhard-Karls-Universität zu Tübingen, 1992.

The Physical Object

Pagination
78 p.
Number of pages
78

Edition Identifiers

Open Library
OL57071106M
OCLC/WorldCat
53061954

Work Identifiers

Work ID
OL42032508W

Source records

Harvard University record

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