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An edition of Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren (1994)

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

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Cover of: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren by Walter Olbrich
Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren by Walter Olbrich
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An edition of Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren (1994)

Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

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Publish Date
Publisher
Springer Berlin Heidelberg
Language
German

Subjects

Ionenbestrahlung PVD-Verfahren Prozessoptimierung
Edition Availability
Cover of: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
1994, Springer Berlin Heidelberg
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Book Details

Edition Notes

Lizenzpflichtig

Langzeitarchivierung gewährleistet LZA

Published in
Berlin, Heidelberg
Series
IPA-IAO Forschung und Praxis

Classifications

Dewey Decimal Class
658.5
Library of Congress
TA1-2040

The Physical Object

Format
Elektronische Ressource
Pagination
Online-Ressource.

Edition Identifiers

Open Library
OL27036679M
ISBN 10
3642478921
ISBN 13
9783642478925
OCLC/WorldCat
863966918

Work Identifiers

Work ID
OL19847828W

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