| Record ID | marc_loc_2016/BooksAll.2016.part37.utf8:95836136:1524 |
| Source | Library of Congress |
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100 1 $aFranz, Gerhard,$cDr. rer. nat.
245 10 $aLow pressure plasmas and microstructuring technology /$cGerhard Franz.
260 $aBerlin :$bSpringer,$cc2009.
300 $axxiv, 732 p. :$bill. ;$c24 cm.
504 $aIncludes bibliographical references (p. 669-703) and index.
650 0 $aPlasma (Ionized gases)$xIndustrial applications.
650 0 $aPlasma engineering.
650 0 $aPlasma etching.
650 4 $aIonenstrahlbearbeitung.
650 4 $aNiederdruckplasma$xHochfrequenzentladung.
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650 4 $aPlasmaätzen.
650 4 $aPlasmadiagnostik.
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